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调制比对HiPIMS制备多层DLC薄膜耐腐蚀性能的影响
2021-07-12 10:33:09
作者:贾昆鹏,王雪,徐锋,施莉莉,赵延超,左敦稳
来源:中国表面工程
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标签:
DLC 薄膜
,
软硬交替
,
调制比
,
电阻率
,
残余应力
,
耐腐蚀性
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