高功率脉冲磁控溅射技术制备纳米级ZrO2薄膜的高耐腐蚀性
2022-10-27 15:10:42
作者：孙丽 来源：中国表面工程
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标签： 高功率脉冲磁控溅射技术, ZrO2薄膜, 耐腐蚀
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